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Keithley吉時利2182A納伏表
在納米技術、超導材料與精密計量領域,納伏級微弱電壓測量是突破科研與工業瓶頸的核心需求。Keithley吉時利2182A作為泰克旗下新一代雙通道納伏表,以1nV超
Keithley吉時利2182A納伏表的詳細資料
在納米技術、超導材料與精密計量領域,納伏級微弱電壓測量是突破科研與工業瓶頸的核心需求。Keithley吉時利2182A作為泰克旗下新一代雙通道納伏表,以1nV超高靈敏度、低噪聲性能與靈活聯動特性,重新定義了微弱信號檢測標準。其取代經典2182型號後,新增脈衝測量能力、更快電流反轉速度與簡化Delta模式,解決了傳統方案噪聲大、速度慢、抗幹擾弱的痛點。無論是超導轉變溫度測定、納米線電阻表征,還是低功耗器件測試,該儀器均能提供穩定可靠的數據支撐,成為科研實驗室與高端製造車間的必備設備。本文結合官方技術規格與實測數據,全麵解析其技術特性與測試原理。
1.整體定位與核心優勢
2182A是一款專為超低噪聲電壓測量優化的雙通道儀器,核心優勢體現在“速度-噪聲”平衡與抗幹擾設計上。與同類方案相比,其在1s響應時間下噪聲僅15nVp-p,60ms時也僅40-50nVp-p,測量速度提升30%以上。雙通道設計支持同時測量電壓、溫度(含熱電偶線性化與冷端補償)及電阻比值,內置1024讀數緩衝區,適配自動化測試場景。
2.核心技術參數表
| 參數類別 | 具體指標 | 備注(權威來源) |
| 靈敏度 | 1nV | 行業頂尖水平,支持10mV-100V電壓範圍 |
| 噪聲性能 | 1s響應:15nVp-p;60ms:40-50nVp-p | Delta模式24Hz下30nVp-p,可多次平均降噪 |
| 電阻測量 | 10nΩ-200MΩ | 需配合6220/6221電流源,增量模式支持 |
| 溫度測量 | -200°C-1820°C | 內置熱電偶線性化與冷端補償 |
| 抗幹擾能力 | 110dB串模抑製(NMRR) | 電源周期同步,無需額外屏蔽濾波 |
| 通道與存儲 | 2通道,1024讀數緩衝區 | 支持GPIB/RS-232C遠程控製 |
| 聯動特性 | 適配6220/6221電流源 | 脈衝同步測量,16μs響應,50μs完整周期 |
3.關鍵功能解析
Delta模式優化:自動觸發電流源極性反轉並同步讀數,可抵消動態熱電偏移(非僅靜態),測量時間減半,兩鍵即可完成設置,噪聲降至1nV。
脈衝測量能力:與6221電流源聯動時,將DUT功耗降至最低,避免溫度敏感器件損壞,適用於納米電子器件測試。
微分電導測量:單通道即可獲取I-V曲線導數,速度較傳統方案快10倍,無需多次掃描平均,減少誤差。
1.微弱電壓測量核心原理
2182A采用電流反轉法,融合直流與AC技術優勢:通過幾赫茲頻率反轉直流測試電流,測量電壓差值以抵消熱電噪聲。該方法既避免了直流方案長積分時間的局限,又解決了AC技術的相移問題。其電路設計包含低噪聲斬波放大器與精密濾波器,通過以下步驟實現高精度測量:
信號采集:雙通道前端采用低輸入阻抗設計,捕捉納伏級電壓信號;
噪聲抑製:電源周期同步技術使測量周期與50/60Hz交流電同步,消除相位差異導致的波動,實現110dBNMRR;
極性反轉:內部繼電器切換電流方向,兩次讀數差值計算真實電壓,消除靜態與動態熱電偏移;
濾波輸出:可選擇響應時間(60ms-10s),通過數字濾波實現速度與噪聲的靈活權衡。
2.電阻測量原理(聯動電流源)
當配合6220/6221電流源時,儀器通過四端測量法消除引線電阻影響,原理如下:
電流源向DUT施加已知電流(最低至nA級);
2182A測量DUT兩端電壓降,Delta模式下反轉電流並二次測量;
利用歐姆定律R=U/I計算電阻,通過極性反轉抵消熱電勢,實現10nΩ級精度。
例如測量10mΩ電阻時,20μA測試電流下,電壓分辨率達1nV,對應電阻分辨率0.05mΩ。
3.抗幹擾技術原理
電源同步:測量周期與AC電源周期鎖定,使每個讀數在相同相位采集,抵消50/60Hz幹擾,這是其110dBNMRR的核心來源;
屏蔽設計:輸入端子采用浮地設計,減少共模電流耦合,配合內部屏蔽層進一步降低電磁幹擾;
噪聲濾波:多級RC濾波與數字平均算法結合,可根據需求選擇濾波深度,60ms響應時仍保持較低噪聲水平。
1.科研領域
超導材料研究:測量超導轉變溫度時,2182A通過低噪聲電壓檢測捕捉電阻突變點,配合溫度控製器實現-200°C至1820°C範圍監測;
納米技術:表征碳納米管、矽納米線電阻時,Delta模式與6221脈衝電流源聯動,將功耗降至nW級,避免器件熱損傷;
熱電效應研究:精確測量溫差電動勢(μV級),內置熱電偶補償功能簡化實驗流程。
2.工業檢測
低功耗器件測試:對物聯網傳感器、微機電係統(MEMS)進行漏電電壓測量,1nV靈敏度捕捉微弱電流產生的電壓降;
材料質量控製:檢測低阻合金、導電薄膜的電阻均勻性,10nΩ分辨率確保批次一致性;
溫度監測:在半導體製造中,通過熱電偶線性化功能實現晶圓溫度精準監控,誤差±0.1°C。
3.計量校準
標準電池比對:作為基準儀器測量標準電池的開路電壓,噪聲≤15nVp-p確保比對精度;
電阻橋零位檢測:為精密電阻橋提供零位補償信號,替代傳統檢流計,響應速度提升5倍。
Keithley2182A納伏表以1nV靈敏度、低噪聲性能與靈活聯動特性,成為微弱信號測量領域的標杆。其電流反轉技術與電源同步設計,從原理上解決了熱電噪聲與電磁幹擾兩大核心難題,Delta模式與脈衝測量能力進一步拓展了應用邊界。在科研中,它助力超導與納米技術突破;在工業中,保障低功耗器件與精密材料的質量控製;在計量中,提供基準級檢測能力。相較於前代產品與同類方案,其“精度-速度-易用性”的平衡更適配現代測試需求,持續為高端測量領域提供可靠技術支撐。
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